Skip to contents Powell, Ronald A. [Editor] Dry etching for microelectronics Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Amsterdam [u.a.]: North-Holland Physics Publ., 1984 Published in: Materials processing, theory and practices ; 4 Fromknecht, Rainer [Author] Trockenätzen von Niobschichten mit CF4O2- und @SF6O2-Plasmen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 1988 Franz, Gerhard [Author] Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik - [3. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2004 Published in: Engineering online library Sugawara, Minoru [Author] ; Stansfield, Barry L. [Other] Plasma etching : fundamentals and applications Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Oxford [u.a.]: Oxford University Press, 1998 Published in: Series on semiconductor science and technology ; 7 Manos, Dennis M. [Editor]; Flamm, Daniel L. [Editor] Plasma etching : an introduction Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989 Published in: Plasma ; materials interactions Hoche, Jens [Author] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5 Korzec, Dariusz [Author] Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verlag, 1993 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 160 Schumacher, Axel [Author] Untersuchung des laserunterstützten Naß- und Trockenätzens von Silizium zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 1999 Published in: Berichte aus der Mikromechanik Franz, Gerhard [Author] Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik - [2., völlig neubearb. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1994 Hellriegel, Ronald [Author] Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand, 2009 Lieberman, Michael A. [Author]; Lichtenberg, Allan J. [Author] Principles of plasma discharges and materials processing Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994 Published in: A Wiley-Interscience publication D'Agostino, Riccardo [Editor] Plasma deposition, treatment, and etching of polymers Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston; London: Academic Press, c1990 Published in: Plasma--materials interactions Poll, Hans-Ullrich [Other] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985 Published in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4 Valiev, Kamilʹ A. [Author] ; Rakov, Aleksandr V. [Other] Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Moskva: Radio i Svjazʹ, 1984 Chapman, Brian [Author]; Chapman, Brian N. [Author] Glow discharge processes : sputtering and plasma etching Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1980 Published in: A Wiley interscience publication Hirsch, Jens [Author] ; Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018 López Alonso, Elena [Author] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2014 Published in: Berichte aus der Fertigungstechnik Reinicke, Marco [Author] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009 Markert, Matthias [Author] Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001 Shul, Randy J. [Editor] Handbook of advanced plasma processing techniques Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2000 Published in: Online library ; physics and astronomy
Powell, Ronald A. [Editor] Dry etching for microelectronics Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Amsterdam [u.a.]: North-Holland Physics Publ., 1984 Published in: Materials processing, theory and practices ; 4
Fromknecht, Rainer [Author] Trockenätzen von Niobschichten mit CF4O2- und @SF6O2-Plasmen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 1988
Franz, Gerhard [Author] Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik - [3. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2004 Published in: Engineering online library
Sugawara, Minoru [Author] ; Stansfield, Barry L. [Other] Plasma etching : fundamentals and applications Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Oxford [u.a.]: Oxford University Press, 1998 Published in: Series on semiconductor science and technology ; 7
Manos, Dennis M. [Editor]; Flamm, Daniel L. [Editor] Plasma etching : an introduction Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989 Published in: Plasma ; materials interactions
Hoche, Jens [Author] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5
Korzec, Dariusz [Author] Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verlag, 1993 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 160
Schumacher, Axel [Author] Untersuchung des laserunterstützten Naß- und Trockenätzens von Silizium zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 1999 Published in: Berichte aus der Mikromechanik
Franz, Gerhard [Author] Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik - [2., völlig neubearb. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1994
Hellriegel, Ronald [Author] Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand, 2009
Lieberman, Michael A. [Author]; Lichtenberg, Allan J. [Author] Principles of plasma discharges and materials processing Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994 Published in: A Wiley-Interscience publication
D'Agostino, Riccardo [Editor] Plasma deposition, treatment, and etching of polymers Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston; London: Academic Press, c1990 Published in: Plasma--materials interactions
Poll, Hans-Ullrich [Other] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985 Published in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4
Valiev, Kamilʹ A. [Author] ; Rakov, Aleksandr V. [Other] Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Moskva: Radio i Svjazʹ, 1984
Chapman, Brian [Author]; Chapman, Brian N. [Author] Glow discharge processes : sputtering and plasma etching Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1980 Published in: A Wiley interscience publication
Hirsch, Jens [Author] ; Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018
López Alonso, Elena [Author] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2014 Published in: Berichte aus der Fertigungstechnik
Reinicke, Marco [Author] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009
Markert, Matthias [Author] Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001
Shul, Randy J. [Editor] Handbook of advanced plasma processing techniques Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2000 Published in: Online library ; physics and astronomy
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