> Details

Janz, Stefan [Author]; Steinhauser, Bernd [Author]; Zimmer, Martin [Author]; Haunschild, Jonas [Author]; Ivanov, Alexey [Author]; Sorgenfrei, Ralf [Author] ; Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme

Epipower B: Prozessentwicklung für Hochdurchsatz Inlineanlagen zur Herstellung und inline Charakterisierung für epitaktische Wafer

Reference
management

Bookmarks

Remove from
bookmarks

Share this on Whatsapp

Close

Bookmarks



You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this.
  • Media type: E-Book
  • Title: Epipower B: Prozessentwicklung für Hochdurchsatz Inlineanlagen zur Herstellung und inline Charakterisierung für epitaktische Wafer : Schlussbericht für das Forschungsvorhaben : Projektdauer: 01.11.2016 bis 31.10.2018
  • Contributor: Janz, Stefan [VerfasserIn]; Steinhauser, Bernd [VerfasserIn]; Zimmer, Martin [VerfasserIn]; Haunschild, Jonas [VerfasserIn]; Ivanov, Alexey [VerfasserIn]; Sorgenfrei, Ralf [VerfasserIn]
  • Corporation: Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme
  • imprint: Freiburg: Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE, [September 2019]
  • Extent: 1 Online-Ressource (16 Seiten, 958,08 KB); Diagramme, Illustrationen
  • Language: German
  • DOI: 10.2314/KXP:1681090511
  • Identifier:
  • Keywords: Forschungsbericht
  • Origination:
  • Footnote: Förderkennzeichen BMWi 0324135B
    Verbundnummer 01174056
    Weitere Verfasser dem Berichtsblatt entnommen
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
  • Access State: Open Access