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Janz, Stefan [VerfasserIn]; Steinhauser, Bernd [VerfasserIn]; Zimmer, Martin [VerfasserIn]; Haunschild, Jonas [VerfasserIn]; Ivanov, Alexey [VerfasserIn]; Sorgenfrei, Ralf [VerfasserIn] ; Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme

Epipower B: Prozessentwicklung für Hochdurchsatz Inlineanlagen zur Herstellung und inline Charakterisierung für epitaktische Wafer

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  • Medientyp: E-Book
  • Titel: Epipower B: Prozessentwicklung für Hochdurchsatz Inlineanlagen zur Herstellung und inline Charakterisierung für epitaktische Wafer : Schlussbericht für das Forschungsvorhaben : Projektdauer: 01.11.2016 bis 31.10.2018
  • Beteiligte: Janz, Stefan [VerfasserIn]; Steinhauser, Bernd [VerfasserIn]; Zimmer, Martin [VerfasserIn]; Haunschild, Jonas [VerfasserIn]; Ivanov, Alexey [VerfasserIn]; Sorgenfrei, Ralf [VerfasserIn]
  • Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme
  • Erschienen: Freiburg: Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE, [September 2019]
  • Umfang: 1 Online-Ressource (16 Seiten, 958,08 KB); Diagramme, Illustrationen
  • Sprache: Deutsch
  • DOI: 10.2314/KXP:1681090511
  • Identifikator:
  • Schlagwörter: Forschungsbericht
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Förderkennzeichen BMWi 0324135B
    Verbundnummer 01174056
    Weitere Verfasser dem Berichtsblatt entnommen
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
  • Zugangsstatus: Freier Zugang