Media type: Book; Thesis Title: Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen Contributor: Hald, Axel [VerfasserIn] Corporation: Technische Universität Dresden Published: Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020] Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020] Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 20 ; 473 Issue: Als Manuskript gedruckt Extent: VIII, 152 Seiten; Illustrationen, Diagramme Language: German ISBN: 9783183473205; 3183473208 Origination: RVK notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Keywords: MEMS > Kapazitiver Sensor > Beschleunigungssensor > Drehratensensor > Schaltungsentwurf > Elektrostatik > Parasitäres Element > Prozesssimulation > Ersatzschaltbild > Mustererkennung Footnote: Sprache der Kurzfassung: Deutsch, Englisch Provenance information:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: SS 5631-473 Item ID: 33409785 Status: Loanable
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