Media type: E-Book; Conference Proceedings Title: Applied Optical Metrology V : 22-23 August 2023, San Diego, California, United States Contributor: Novak, Erik [HerausgeberIn]; Wilcox, Christopher C. [HerausgeberIn] Corporation: SPIE imprint: Bellingham, Washington, USA: SPIE, [2023] Published in: SPIE: Proceedings of SPIE ; 12672 Extent: 1 Online-Ressource; Illustrationen Language: English ISBN: 9781510665590 Keywords: Optische Messtechnik Origination: Footnote: Teilkonferenz von SPIE Optical Engineering + Applications 2023 im Rahmen von SPIE Optics + Photonics 2023 Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge Literaturangaben