Schroedter, Richard
[Author]
;
Janschek, Klaus
[Degree supervisor];
Schitter, Georg
[Degree supervisor]Technische Universität Dresden
Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
= Model-based system design for the control of quasi-static micro scanning mirrors with electrostatic comb drive