Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb: = Model-based system design for the control of quasi-static micro scanning mirrors with electrostatic comb drive

Medientyp: E-Book; Hochschulschrift

Titel: Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb

Paralleltitel: Model-based system design for the control of quasi-static micro scanning mirrors with electrostatic comb drive

Beteiligte: Schroedter, Richard [Verfasser:in]; Janschek, Klaus [Akademische:r Betreuer:in]; Schitter, Georg [Akademische:r Betreuer:in]

Körperschaft: Technische Universität Dresden

Erschienen: Dresden: Technische Universität Dresden, 2018

Umfang: 1 Online-Ressource

Sprache: Deutsch

Identifikator:

RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik

Schlagwörter: MEMS > Spiegelsystem > Scanner > Mikroaktor > Kammantrieb > Positionsgeber > Reglerentwurf > Repetitive control > Systementwurf

Entstehung:

Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2018

Anmerkungen:

Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW

Zugangsstatus: Freier Zugang

Rechte-/Nutzungshinweise: Namensnennung - Keine Bearbeitung (CC BY-ND)

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