Beckert, Erik
[Author];
Ullrich, Michael
[Author];
Spiess, Christopher
[Author]
;
Jetter, Michael
[Contributor];
Hein, Matthias
[Contributor];
Müller, Jens
[Contributor]
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik,
Universität Stuttgart Institut für Halbleiteroptik und Funktionelle Grenzflächen,
Technische Universität Ilmenau Fachgebiet Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik,
Technische Universität Ilmenau Fachgebiet Elektroniktechnologie