Media type: Book Title: Ätzverfahren für die Mikrotechnik Contains: Literaturverz. S. [371] - 386 Contributor: Koehler, Michael [Author]; Köhler, Michael [Other] Published: Weinheim; New York; Chichester; Brisbane; Singapore; Toronto: Wiley-VCH, 1998 Extent: XVI, 398 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3527288694 RVK notation: ZM 7660 : Chemische Oberflächenbearbeitung VE 9670 : Allgemeines ZN 4150 : Dünnschichttechnologie UQ 2800 : Kristallbearbeitung, Polieren, Ätzen ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Keywords: Ätzen > Mikrosystemtechnik Origination: Footnote: Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 7660 K77 Item ID: 10363143 Status: Loanable
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 7660 K77 Item ID: 30435747 Status: Loanable