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Medientyp: Buch Titel: Ätzverfahren für die Mikrotechnik Enthält: Literaturverz. S. [371] - 386 Beteiligte: Koehler, Michael [Verfasser:in]; Köhler, Michael [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Weinheim; New York; Chichester; Brisbane; Singapore; Toronto: Wiley-VCH, 1998 Umfang: XVI, 398 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3527288694 RVK-Notation: ZM 7660 : Chemische Oberflächenbearbeitung VE 9670 : Allgemeines ZN 4150 : Dünnschichttechnologie UQ 2800 : Kristallbearbeitung, Polieren, Ätzen ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: Ätzen > Mikrosystemtechnik Entstehung: Anmerkungen: Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology