Media type: Book; Thesis Title: Prozeßbegleitende Bestimmung von Defektdichten in hochintegrierten Schaltungen Other titles: Nebensacht.: Prozeßbegleitende Defektdichtebestimmung Contributor: Weiland, Larg H. [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1998 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 280 Issue: Als Ms. gedr. Extent: XI, 140 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3183280094 Keywords: VLSI > Mehrebenenverdrahtung > Fehlererkennung > Testmuster > Messwerterfassung > Stichprobe Origination: University thesis: Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1998 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-280 Item ID: 10087363 Status: Loanable