Media type: Book; Thesis Title: Synthese und Spannungsanalyse von Bornitridschichten, hergestellt mittels ionengestützter Deposition Other titles: Nebent.: Spannungen in Bornitridschichten Contributor: Zeitler, Michael [Author] Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1999 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 54000 Issue: Als Ms. gedr. Extent: VII, 98 S; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3183540053 RVK notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik ZM 7620 : Schutzschichten und Überzüge allgemein, Beschichten Keywords: CBN > Dünne Schicht > Elektronenstrahlverdampfen > Ionenstrahl > Spannungsanalyse Origination: University thesis: Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1998 Footnote: Literaturverz. S. 86 - 94 Literaturverz. S. 97 - 98
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1705-540 Item ID: 30437367 Status: Loanable