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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Synthese und Spannungsanalyse von Bornitridschichten, hergestellt mittels ionengestützter Deposition Weitere Titel: Nebent.: Spannungen in Bornitridschichten Beteiligte: Zeitler, Michael [Verfasser:in] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1999 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 54000 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: VII, 98 S; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3183540053 RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik ZM 7620 : Schutzschichten und Überzüge allgemein, Beschichten Schlagwörter: CBN > Dünne Schicht > Elektronenstrahlverdampfen > Ionenstrahl > Spannungsanalyse Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1998 Anmerkungen: Literaturverz. S. 86 - 94 Literaturverz. S. 97 - 98 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 5