Media type: Book; Thesis Title: LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften Contributor: Maier-Schneider, Dieter [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1995 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 183 Issue: Als Ms. gedr Extent: XII, 116 S; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3183183188 RVK notation: UF 3000 : Elastizitätstheorie Keywords: LPCVD-Verfahren > Silicium > Polykristall > Elastizitätsmodul LPCVD-Verfahren > Silicium > Polykristall > Eigenspannung Origination: University thesis: Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: UF 3150 B887-183 Item ID: 30597151 Status: Loanable