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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften Beteiligte: Maier-Schneider, Dieter [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1995 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 183 Ausgabe: Als Ms. gedr Umfang: XII, 116 S; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3183183188 RVK-Notation: UF 3000 : Elastizitätstheorie Schlagwörter: LPCVD-Verfahren > Silicium > Polykristall > Elastizitätsmodul LPCVD-Verfahren > Silicium > Polykristall > Eigenspannung Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 18
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: UF 3150 B887-183 Barcode: 30597151 Status: Ausleihbar