Media type: Book; Thesis Title: Prozessparameter und ihr Einfluss auf die Schwindungsgenauigkeit von hochintegrierten keramischen Mehrlagenschaltungen Contributor: Wagner, Matthias [Author] Published: Aachen: Shaker, 2005 Published in: Berichte aus der Werkstofftechnik Extent: 178 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3832235353; 9783832235352 RVK notation: ZN 4100 : Allgemeines Keywords: Mehrschichtschaltung > VLSI > LTCC > Schwinden > Flüssigphasesintern > Prozessführung Origination: University thesis: Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2004 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4100 W134 Item ID: 31987418 Status: Loanable