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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Prozessparameter und ihr Einfluss auf die Schwindungsgenauigkeit von hochintegrierten keramischen Mehrlagenschaltungen Beteiligte: Wagner, Matthias [VerfasserIn] Erschienen: Aachen: Shaker, 2005 Erschienen in: Berichte aus der Werkstofftechnik Umfang: 178 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3832235353; 9783832235352 RVK-Notation: ZN 4100 : Allgemeines Schlagwörter: Mehrschichtschaltung > VLSI > LTCC > Schwinden > Flüssigphasesintern > Prozessführung Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2004 Anmerkungen: