Media type: Book; Thesis Title: Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen Contributor: Reuter, Danny [Author] imprint: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2009 Extent: 220 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 9783941003071 RVK notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie ZN 4174 : CVD Keywords: Dünnschichttechnik > Verkappen > Mikrostruktur > Opferschicht > Polymere > PECVD-Verfahren Dünnschichttechnik > Verkappen > Mikrostruktur > Opferschicht > Polymere > PECVD-Verfahren Origination: University thesis: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 Footnote:
Central Library – stack Shelf-mark: 2010 8 020395 Item ID: 32978163 Status: Place order for use in library, no dispatch by interlibrary loan; delivery of photocopies possible > Ordering possible ‒ please log in Orders received from Mon - Fri by 1 pm are expected to be ready for you on the same day.