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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen Beteiligte: Reuter, Danny [VerfasserIn] Erschienen: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2009 Umfang: 220 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 9783941003071 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie ZN 4174 : CVD Schlagwörter: Dünnschichttechnik > Verkappen > Mikrostruktur > Opferschicht > Polymere > PECVD-Verfahren Dünnschichttechnik > Verkappen > Mikrostruktur > Opferschicht > Polymere > PECVD-Verfahren Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 Anmerkungen:
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2010 8 020395 Barcode: 32978163 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.