Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium

Media type: E-Book; Thesis

Title: Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium

Other titles: Übers. des Hauptsacht.: Non-destructive Determination of Residual Stress for the Evaluation of Reliability of 3D-integrated Contact Structures in Silicon

Contributor: Zschenderlein, Uwe [Author]

Published: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2014

Extent: Online-Ressource

Language: German

Identifier:

RVK notation: ZQ 3740 : Kraftmessung; Messung von Drehmoment; Messung von mechanischer Spannung, Arbeit, Leistung

Keywords: System-in-Package > Dreidimensionale Integration > Bonden > Silicium > Eigenspannung > Spannungsanalyse > Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung > Röntgenographie > Finite-Elemente-Methode > Zuverlässigkeit

Origination:

University thesis: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2013

Footnote: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader

Access State: Open Access

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