Media type: E-Book; Thesis Title: Atomic scale engineering of HfO2–based dielectrics for future DRAM applications Other titles: Engineering auf atomarer Skala von HfO2-basierten Dielektrika für künftige DRAM Anwendung Contributor: Dudek, Piotr [Verfasser]; Schmeisser, Dieter [Akademischer Betreuer] imprint: Cottbus: Universitätsbibliothek der BTU Cottbus, 2011 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Mikroelektronik ; Miniaturisierung ; Dielektrikum ; Elektrode ; Metall ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2011 Footnote: Access State: Open Access