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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Atomic scale engineering of HfO2–based dielectrics for future DRAM applications Weitere Titel: Engineering auf atomarer Skala von HfO2-basierten Dielektrika für künftige DRAM Anwendung Beteiligte: Dudek, Piotr [Verfasser]; Schmeisser, Dieter [Akademischer Betreuer] Erschienen: Cottbus: Universitätsbibliothek der BTU Cottbus, 2011 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: Mikroelektronik ; Miniaturisierung ; Dielektrikum ; Elektrode ; Metall ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2011 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang