Media type: E-Book; Thesis Title: Berührungslose ortsauflösende Inspektion planarer Elektronik auf Grundlage kapazitiver Kopplung Other titles: Contactless Spatially Resolved Inspection of Planar Electronics based on Capacitive Coupling Contributor: Kördel, Martin [Verfasser]; Lerch, Reinhard [Akademischer Betreuer] imprint: Erlangen: Universitätsbibliothek der Universität Erlangen-Nürnberg, 2013 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Sensorsystem ; Kapazitiver Sensor ; Bilderzeugung ; Berührungslose Messung ; Inspektion ; Finite-Elemente-Methode ; Systementwicklung ; Fehlererkennun ; kapazitive Kopplung ; planare Elektronik ; Inspektionssystem ; Defektinspektion ; Funktionsinspektion capacitive coupling ; planar electronic devices ; inspection system ; defect inspection ; functional inspection ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Erlangen, Universität Erlangen-Nürnberg, Diss., 2012 Footnote: Access State: Open Access