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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Berührungslose ortsauflösende Inspektion planarer Elektronik auf Grundlage kapazitiver Kopplung Weitere Titel: Contactless Spatially Resolved Inspection of Planar Electronics based on Capacitive Coupling Beteiligte: Kördel, Martin [Verfasser]; Lerch, Reinhard [Akademischer Betreuer] Erschienen: Erlangen: Universitätsbibliothek der Universität Erlangen-Nürnberg, 2013 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Sensorsystem ; Kapazitiver Sensor ; Bilderzeugung ; Berührungslose Messung ; Inspektion ; Finite-Elemente-Methode ; Systementwicklung ; Fehlererkennun ; kapazitive Kopplung ; planare Elektronik ; Inspektionssystem ; Defektinspektion ; Funktionsinspektion capacitive coupling ; planar electronic devices ; inspection system ; defect inspection ; functional inspection ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Erlangen, Universität Erlangen-Nürnberg, Diss., 2012 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang