Media type: E-Book; Thesis Title: Molecular dynamics simulations of Si, SiC and Si3N4 layered systems Other titles: Molekulardynamische Simulationen von Si-, SiC- und Si3N4-Schichtsystemen Contributor: Prskalo, Alen-Pilip [Verfasser]; Schmauder, Siegfried [Akademischer Betreuer] imprint: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2013 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Molekulardynamik ; Siliciumcarbid ; Zerstäubung ; Schicht ; Nanoindentation ; molecular dynamics ; nanoindentation ; coatings ; sputtering ; silicon carbide ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Stuttgart, Universität Stuttgart, Diss., 2013 Footnote: Access State: Open Access