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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Molecular dynamics simulations of Si, SiC and Si3N4 layered systems Weitere Titel: Molekulardynamische Simulationen von Si-, SiC- und Si3N4-Schichtsystemen Beteiligte: Prskalo, Alen-Pilip [Verfasser]; Schmauder, Siegfried [Akademischer Betreuer] Erschienen: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2013 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: Molekulardynamik ; Siliciumcarbid ; Zerstäubung ; Schicht ; Nanoindentation ; molecular dynamics ; nanoindentation ; coatings ; sputtering ; silicon carbide ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Stuttgart, Universität Stuttgart, Diss., 2013 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang