Grochla, Darius G.
[Author]
;
Ludwig, Alfred
[Other];
Awakowicz, Peter
[Other]
Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen
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Media type:
E-Book;
Thesis
Title:
Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen