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Olschewski, Thomas [Author]

Untersuchungen von Oberflaecheneigenschaften und Haftmechanismen bei der Verbindung unterschiedlicher Schichten mit Hilfe oberflaechenanalytischer Methoden

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  • Media type: E-Book
  • Title: Untersuchungen von Oberflaecheneigenschaften und Haftmechanismen bei der Verbindung unterschiedlicher Schichten mit Hilfe oberflaechenanalytischer Methoden
  • Contributor: Olschewski, Thomas [Author]
  • Published: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, 1991
  • Published in: KfK-Berichte ; 4991
  • Extent: Online-Ressource
  • Language: German
  • Identifier:
  • Keywords: Polymethylmethacrylate ; Mikrosystemtechnik ; Ätzen ; Sekundärionen-Massenspektrometrie ; LIGA-Verfahren ; Sensor
  • Origination:
  • University thesis: Dissertation, Karlsruhe, Universität, 1991
  • Footnote:
  • Access State: Open Access