• Medientyp: E-Book
  • Titel: Untersuchungen von Oberflaecheneigenschaften und Haftmechanismen bei der Verbindung unterschiedlicher Schichten mit Hilfe oberflaechenanalytischer Methoden
  • Beteiligte: Olschewski, Thomas [Verfasser:in]
  • Erschienen: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, 1991
  • Erschienen in: KfK-Berichte ; 4991
  • Umfang: Online-Ressource
  • Sprache: Deutsch
  • Identifikator:
  • Schlagwörter: Polymethylmethacrylate ; Mikrosystemtechnik ; Ätzen ; Sekundärionen-Massenspektrometrie ; LIGA-Verfahren ; Sensor
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dissertation, Karlsruhe, Universität, 1991
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang