Media type: E-Book Title: Multimethod metrology of multilayer mirrors using EUV and X-Ray radiation Other titles: Multimethodenmetrologie an Mehrschichtspiegeln unter der Verwendung von EUV und Röntgenstrahlung Contributor: Haase, Anton [Verfasser]; Richter, Mathias [Akademischer Betreuer]; Scholze, Frank [Akademischer Betreuer]; Eisebitt, Stefan [Gutachter]; Richter, Mathias [Gutachter]; Bajt, Saša [Gutachter] imprint: Berlin: Technische Universität Berlin, 2017 Extent: Online-Ressource Language: English DOI: 10.14279/depositonce-6428 Identifier: Origination: University thesis: Dissertation, Berlin, Technische Universität Berlin, 2017 Footnote: Access State: Open Access