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Haase, Anton [VerfasserIn] ; Richter, Mathias [AkademischeR BetreuerIn]; Scholze, Frank [AkademischeR BetreuerIn]; Eisebitt, Stefan [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Richter, Mathias [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Bajt, Saša [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Multimethod metrology of multilayer mirrors using EUV and X-Ray radiation

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  • Medientyp: E-Book
  • Titel: Multimethod metrology of multilayer mirrors using EUV and X-Ray radiation
  • Weitere Titel: Multimethodenmetrologie an Mehrschichtspiegeln unter der Verwendung von EUV und Röntgenstrahlung
  • Beteiligte: Haase, Anton [Verfasser]; Richter, Mathias [Akademischer Betreuer]; Scholze, Frank [Akademischer Betreuer]; Eisebitt, Stefan [Gutachter]; Richter, Mathias [Gutachter]; Bajt, Saša [Gutachter]
  • Erschienen: Berlin: Technische Universität Berlin, 2017
  • Umfang: Online-Ressource
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.14279/depositonce-6428
  • Identifikator:
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dissertation, Berlin, Technische Universität Berlin, 2017
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang