Media type: E-Book Title: Realisierung eines piezo-resistiven Niederdruck-Sensors in der SOI-Technologie zum Einsatz in Hochtemperatur- und aggressiver Umgebung Other titles: A piezoresistive low-pressure sensor fabricated using Silicon-On-Insulator (SOI) for harsh environment applications Contributor: Mukhopadhyay, Biswajit [Verfasser]; Lang, Klaus-Dieter [Akademischer Betreuer]; Lang, Klaus-Dieter [Gutachter]; Bock, Karlheinz [Gutachter]; Nowottnick, Mathias [Gutachter]; Reichl, Herbert [Gutachter] imprint: Berlin: Technische Universität Berlin, 2019 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.14279/depositonce-8133 Identifier: Keywords: Sensor ; Hochtemperatur ; Chip ; Drucksensor Origination: University thesis: Dissertation, Berlin, Technische Universität Berlin, 2018 Footnote: Access State: Open Access