Media type: E-Book; Thesis Title: Implementierung eines Moduls zur großflächigen In-Line Blitzlampentemperung von gesputterten ITO-Schichten Contributor: Westphalen, Jasper [Verfasser]; Rädlein, Edda [Akademischer Betreuer]; Sinzinger, Stefan [Gutachter]; Junghähnel, Manuela [Gutachter] Corporation: Ilmenau Media Services imprint: Ilmenau: Universitätsverlag Ilmenau, 2021 Published in: Werkstofftechnik aktuell ; 22 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.22032/dbt.49068 Identifier: Keywords: Transparent-leitendes Oxid > Dünne Schicht > Indiumoxide > Zinnoxide > Rapid thermal processing > Blitzlampe > Xenonlampe Origination: University thesis: Dissertation, Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, 2020 Footnote: In: Ilmenau : Universitätsverlag Ilmenau Access State: Open Access