Westphalen, Jasper
[Verfasser:in]
;
Rädlein, Edda
[Akademische:r Betreuer:in];
Sinzinger, Stefan
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Junghähnel, Manuela
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]Ilmenau Media Services
Implementierung eines Moduls zur großflächigen In-Line Blitzlampentemperung von gesputterten ITO-Schichten