Media type: E-Book Title: Sputterepitaxie von Gruppe III-Nitriden Contributor: Hörich, Florian [Author]; Strittmatter, André [Other] Published: Magdeburg: Universitätsbibliothek Otto-von-Guericke-Universität, 2023 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.25673/113161 Identifier: Keywords: Galliumnitrid ; MOCVD-Verfahren ; Aluminiumnitrid ; Drei-Fünf-Halbleiter ; Epitaxieschicht ; Nitride ; Schichtwachstum Origination: University thesis: Dissertation, Magdeburg, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, 2023 Footnote: Access State: Open Access