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Medientyp: E-Book Titel: Sputterepitaxie von Gruppe III-Nitriden Beteiligte: Hörich, Florian [Verfasser]; Strittmatter, André [Gutachter] Erschienen: Magdeburg: Universitätsbibliothek Otto-von-Guericke-Universität, 2023 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch DOI: 10.25673/113161 Identifikator: Schlagwörter: Galliumnitrid ; MOCVD-Verfahren ; Aluminiumnitrid ; Drei-Fünf-Halbleiter ; Epitaxieschicht ; Nitride ; Schichtwachstum Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Magdeburg, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, 2023 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang