Media type: E-Book; Thesis Title: Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik Contributor: Wibbeler, Jürgen [Verfasser] Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Vibrationssensor > Oberflächenmontage > Eigenfrequenz > Abstimmung > Resonator > Nichtlineare Schwingung Origination: University thesis: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002 Footnote: Access State: Open Access