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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik Beteiligte: Wibbeler, Jürgen [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Vibrationssensor > Oberflächenmontage > Eigenfrequenz > Abstimmung > Resonator > Nichtlineare Schwingung Entstehung: Hochschulschrift: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang