Description:
<jats:title>Zusammenfassung</jats:title>
<jats:p>Zur flächigen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen wurde erstmals ein Messsystem basierend auf dem
reflektometrischen Messprinzip in Kombination mit einem Hyperspektralimager entwickelt. Eine Vorsatzoptik mit integriertem
Auflichtpfad formt eine Messlinie, deren Reflexion am Messobjekt auf den Eingangsspalt des Hyperspektralimagers abgebildet
wird. Aus den spektralen Daten der Reflektanz wird die Schichthöhe jedes örtlich auflösbaren Pixels des zu untersuchenden
Objekts rekonstruiert. Bewegt sich das Messobjekt lateral linear gleichförmig, ergeben zusammengesetzte Messlinien eine
Messfläche.</jats:p>