Beschreibung:
Zusammenfassung Zur flächigen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen wurde erstmals ein Messsystem basierend auf demreflektometrischen Messprinzip in Kombination mit einem Hyperspektralimager entwickelt. Eine Vorsatzoptik mit integriertemAuflichtpfad formt eine Messlinie, deren Reflexion am Messobjekt auf den Eingangsspalt des Hyperspektralimagers abgebildetwird. Aus den spektralen Daten der Reflektanz wird die Schichthöhe jedes örtlich auflösbaren Pixels des zu untersuchendenObjekts rekonstruiert. Bewegt sich das Messobjekt lateral linear gleichförmig, ergeben zusammengesetzte Messlinien eineMessfläche.