Media type: E-Article Title: Charakterisierung mikrokristalliner Siliziumkarbidschichten für Dünnschichtwiderstände Contributor: Schier, M.; Eck, S.; Bolz, A.; Schaldach, M. imprint: Walter de Gruyter GmbH, 2009 Published in: Biomedizinische Technik/Biomedical Engineering Language: Not determined DOI: 10.1515/bmte.1995.40.s1.415 ISSN: 0013-5585; 1862-278X Keywords: Biomedical Engineering Origination: Footnote: