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Medientyp: E-Artikel Titel: Charakterisierung mikrokristalliner Siliziumkarbidschichten für Dünnschichtwiderstände Beteiligte: Schier, M.; Eck, S.; Bolz, A.; Schaldach, M. Erschienen: Walter de Gruyter GmbH, 2009 Erschienen in: Biomedizinische Technik/Biomedical Engineering Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1515/bmte.1995.40.s1.415 ISSN: 0013-5585; 1862-278X Schlagwörter: Biomedical Engineering Entstehung: Anmerkungen: