> Details

Brinkmann, S.; Dresel, T.; Schreiner, R.; Schwider, J.

Streifende-Inzidenz-Interferometrie mit diffraktiven Elementen für die Formmessung von Mantelflächen stabförmiger Objekte I: Messprinzip und Theorie (Grazing Incidence Interferometry using Diffractive Optical Elements for the Shape Measurement of the Mantle Surface of Rod-shaped Objects I: Measuring Principle and Theory)

Reference
management

Bookmarks

Remove from
bookmarks

Share this on Whatsapp

Close

Bookmarks



You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this.
  • Media type: E-Article
  • Title: Streifende-Inzidenz-Interferometrie mit diffraktiven Elementen für die Formmessung von Mantelflächen stabförmiger Objekte I: Messprinzip und Theorie (Grazing Incidence Interferometry using Diffractive Optical Elements for the Shape Measurement of the Mantle Surface of Rod-shaped Objects I: Measuring Principle and Theory)
  • Contributor: Brinkmann, S.; Dresel, T.; Schreiner, R.; Schwider, J.
  • Published: Walter de Gruyter GmbH, 2000
  • Published in: teme, 67 (2000) 1, Seite 10
  • Language: English
  • DOI: 10.1524/teme.2000.67.1.10
  • ISSN: 2196-7113; 0171-8096
  • Keywords: Electrical and Electronic Engineering ; Instrumentation
  • Origination:
  • Footnote:
  • Description: <jats:p>In einem zweiteiligen Artikel wird über streifende Inzidenz-Interferometrie mit Hilfe von diffraktiven Referenzelementen berichtet. Streifende Inzidenz-Interferometrie ermöglicht auch das interferometrische Vermessen der Oberflächengestaltabweichungen bei rauhen Oberflächen.</jats:p> <jats:p>Dabei werden im Teil I das Prinzip, die zugrunde liegende Theorie, die Designprinzipien angepaßter diffraktiver Phasenmasken sowie die Lösung der Justierprobleme der technischen Testobjekte relativ zum Interferometer dargestellt. </jats:p>