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Brinkmann, S.; Dresel, T.; Schreiner, R.; Schwider, J.

Streifende-Inzidenz-Interferometrie mit diffraktiven Elementen für die Formmessung von Mantelflächen stabförmiger Objekte I: Messprinzip und Theorie (Grazing Incidence Interferometry using Diffractive Optical Elements for the Shape Measurement of the Mantle Surface of Rod-shaped Objects I: Measuring Principle and Theory)

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  • Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Streifende-Inzidenz-Interferometrie mit diffraktiven Elementen für die Formmessung von Mantelflächen stabförmiger Objekte I: Messprinzip und Theorie (Grazing Incidence Interferometry using Diffractive Optical Elements for the Shape Measurement of the Mantle Surface of Rod-shaped Objects I: Measuring Principle and Theory)
  • Beteiligte: Brinkmann, S.; Dresel, T.; Schreiner, R.; Schwider, J.
  • Erschienen: Walter de Gruyter GmbH, 2000
  • Erschienen in: teme, 67 (2000) 1, Seite 10
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1524/teme.2000.67.1.10
  • ISSN: 2196-7113; 0171-8096
  • Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Instrumentation
  • Entstehung:
  • Anmerkungen:
  • Beschreibung: <jats:p>In einem zweiteiligen Artikel wird über streifende Inzidenz-Interferometrie mit Hilfe von diffraktiven Referenzelementen berichtet. Streifende Inzidenz-Interferometrie ermöglicht auch das interferometrische Vermessen der Oberflächengestaltabweichungen bei rauhen Oberflächen.</jats:p> <jats:p>Dabei werden im Teil I das Prinzip, die zugrunde liegende Theorie, die Designprinzipien angepaßter diffraktiver Phasenmasken sowie die Lösung der Justierprobleme der technischen Testobjekte relativ zum Interferometer dargestellt. </jats:p>