Description:
<jats:title>Abstract</jats:title>
<jats:p>Nanopositionierungen sind wesentliche Hilfsmittel für die Nanotechnologie, insbesondere auch für die Nanometrologie. Einsatzgebiete für die Positionierungen sind nicht nur auf Verschiebewege im μm-Bereich beschränkt, sondern umfassen auch den Bereich bis über 100 mm hinaus. Es sind eine Reihe verschiedener Verschiebemethoden für die 2D-Positionierung in der Literatur beschrieben worden und z.T. auch kommerziell erhältlich. Ebenso sind adäquate Messmethoden realisiert worden.</jats:p>
<jats:p>In der vorliegenden Übersicht sind verschiedene relevante Verschiebe- und Messmethoden tabellarisch zusammengefasst worden. Drei Beispiele von Positionierungen werden detaillierter erläutert, bei denen sehr unterschiedliche Konzepte realisiert wurden. </jats:p>