Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices: symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.

Medientyp: Buch; Konferenzbericht
Titel: Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A
Beteiligte: Osgood, R. M. [Hrsg.]; Osgood, Richard M. [Hrsg.]; Brueck, S. R. J. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schlossberg, H. R. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Erschienen: New York [u.a.]: North-Holland, 1983
Erschienen in: Materials Research Society: Materials Research Society symposium proceedings ; 1700
Umfang: XIII, 298 S.; Ill., graph. Darst
Sprache: Englisch
ISBN: 0444007822
RVK-Notation: UH 5750 : Laser in der Materialbearbeitung und Materialprüfung
Schlagwörter: Laserbearbeitung > Halbleiter
Lasertechnologie > Halbleitertechnologie
Entstehung:
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : Materials Research Society symposium proceedings

Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.