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Medientyp: Buch; Konferenzbericht Titel: Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held November 27 - 28, 1989, Boston, Masachusetts, U.S.A Beteiligte: Lucovsky, Gerald [Herausgeber:in]; Ibbotson, Dale E. [Herausgeber:in] Erschienen: Pittsburgh, Pa.: Materials Research Soc., 1990 Erschienen in: Materials Research Society: Materials Research Society symposium proceedings ; 16500 Umfang: IX, 250 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 1558990534 Schlagwörter: Plasma-enhanced chemical vapor deposition Congresses ; Integrated circuits Design and construction Congresses ; Konferenzschrift Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Materials Research Society symposium proceedings
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 2000 8 029057 001 Barcode: 32537157 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung