• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung mit hohen Raten
  • Beteiligte: Steinke, Olaff [VerfasserIn]
  • Erschienen: 1995
  • Umfang: 147 S.; graph. Darst
  • Sprache: Deutsch
  • RVK-Notation: UR 8000 : Plasmaphysik allgemein
  • Schlagwörter: Silicium > Amorpher Zustand > Dünne Schicht > CVD-Verfahren
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Diss., 1995
  • Anmerkungen:

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  • Signatur: 95 8 40606 001
  • Barcode: 10390120
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