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Medientyp: Buch; Konferenzbericht Titel: Introduction to microlithography Beteiligte: Thompson, Larry F. [Herausgeber:in] Erschienen: Washington, DC: American Chemical Soc., 1994 Erschienen in: ACS professional reference book Ausgabe: 2. ed. Umfang: XIV, 527 S; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0841228485 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Halbleitertechnologie > Lithografie > Photoresist > Plasmaätzen Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 2017 8 011958 Barcode: 34659384 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung