• Medientyp: Buch
  • Titel: Plazmennaja technologija v proizvodstve SBIS
  • Werktitel: Plasma processing for VLSI <russ.>
    Einspruch, Norman G.: Plasma processing for VLSI <russ.>
  • Beteiligte: Einspruch, Norman G. [Verfasser:in]; Einspruch, Norman G. [Bearbeiter:in]
  • Erschienen: Moskva: Izd. Mir, 1987
  • Umfang: 469 S.; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Russisch; Englisch
  • Schlagwörter: VLSI > Plasmatechnik > Halbleitertechnologie
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: In kyrill. Schr., russ

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