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Medientyp: Buch Titel: Plazmennaja technologija v proizvodstve SBIS Werktitel: Plasma processing for VLSI <russ.> Einspruch, Norman G.: Plasma processing for VLSI <russ.> Beteiligte: Einspruch, Norman G. [Verfasser:in]; Einspruch, Norman G. [Bearbeiter:in] Erschienen: Moskva: Izd. Mir, 1987 Umfang: 469 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Russisch; Englisch Schlagwörter: VLSI > Plasmatechnik > Halbleitertechnologie Entstehung: Anmerkungen: In kyrill. Schr., russ
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 0988 00180 001 Barcode: 32268644 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung